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時田CVDシステムズ 株式会社
自社開発CVDイットリアコーティングは、半導体製造装置の耐食性を向上させます。
大気開放型CVD装置は、酸化物膜の研究開発に最適です。
イットリアコーティング石英ガラス
わずか膜厚100nmでハロゲンガスへの耐食性が十分にあります。
所在地
〒940-2126
長岡市西津町2179-4
TEL:0258-86-7930
FAX:0258-86-7931
E-mail
t_c_sinfo@cvd.co.jp
URL
http://www.cvd.co.jp/
代表者
代表取締役 時田 修二
資本金
3,615万円
従業員数
2人
設立年月日
平成14年5月1日
取引先
半導体関連メーカー
取扱製品加工品
イットリア膜コーティング
■主要機械設備
設備名
メーカー名
台数
大気開放型CVD
自社
3
常圧CVD
自社
1
小型CVD
自社
1
大型CVD
自社
1
クリーンルーム
日立
1
干渉膜厚計
1
洗浄設備
1
大気開放型CVD装置
酸化物膜の合成研究に最適です。